技术参数
压力
| 栅极压力 |
■ 动静态电压-35V~+35V，可程控。 ■ 开关频率DC~500kHz(20K@50nF，500K@2nF)；步进0.1kHz，精度2%RD±0.2kHz；分辨率0.1kHz。 ■ 占空比0%~100%；step1%；精度1%RD±0.2%；分辨率1%。 ■ dV/dt≥1V/nS(C≤2nF);dV/dt>50mV/nS(C≤50nF)；过冲<5%。 |
| 温度压力 |
■ 室温~175°C 分辨率：0.1°℃；温度精度：±2℃；温度均匀性：≤3°C(五点测温法）；温度波动度：≤1°℃C。 ■ 176~225°C 分辨率：0.1℃；温度精度：±2℃；温度均匀性：≤5°C(五点测温法）；温度波动度≤3°℃。 |
测量
| 漏电流 |
■ 1nA~99.9nA，精度1%RD±0.2nA，分辨率0.1nA； ■ 100nA~999nA，1%RD±2nA，分辨率1nA； ■ 1uA~9.9uA，1%RD±0.02uA，分辨率0.01uA； ■ 10uA~99.9uA，1%RD±0.2uA，分辨率0.1uA。 |
| VGSTH |
■ 测量范围0～10V，分辨率10mV，测量精度1%RD±20mV。 ■ IGE输出能力0~1A，0-100mA；分辨率0.05mA；精度±1%SET±0.1mA；100mA~1A；分辨率0.5mA；精度±1%SET±1mA。 ■ 阈值电压测试前预偏置电压-35V~+35V。压力后测试延时<10mS。 |
